理論純水的電阻率不超過18.25MΩ·cm(25℃溫度下),即電導率≈0.0548μS/cm。
超純水EW-Ⅰ: ≥18 MΩ·cm,即電導率≈0.056μS/cm。
超純水EW-Ⅱ:≥15 MΩ·cm,即電導率≈0.067μS/cm。
純水EW-Ⅲ: ≥10 MΩ·cm,即電導率≈0.1μS/cm。
1S/m=10000μS/cm,請注意對應的電導率單位。
1Ω·m=10000 MΩ·cm,請注意對應的電阻率單位。